性能

• 可用范圍：*大0-5000 slpm，**0-0.5 sccm / 0-500sμlm（庫存范圍請參見“零件編號”標簽）
• 穩態控制范圍：滿量程的0.01％– **。
• 標準精度校準，可溯源NIST：+/-（大多數產品讀數的0.6％）
• 可選的高精度校準，可追溯到NIST：+/-（大多數產品讀數的0.5％）
• 重復性：讀數的+/- 0.1％+滿量程的0.02％
• 典型的控制響應時間常數：50-100毫秒（PID調整低至25毫秒）
• 無需預熱時間

運行條件

• 兼容氣體：98（MC）或130（MCS）預裝的可選氣體校準；可使用COMPOSER定義的其他混合物
• 工作溫度：-10°C至+ 60°C
• *大內部壓力（靜態）：145 psig（160 psia）
• 耐壓力：175 psig（190 psia）
• STP / NTP：用戶可選（默認為25°C＆1 atm STP / 0°C＆1 atm NTP）